LVC414 ASM คอนโทรลเลอร์ควบคุมไอระเหยของเหลว LVC 414
ยี่ห้อ / ผู้ผลิต | ASM / USA |
ส่วนจำนวน |
LVC414 |
หมายเลขชิ้นส่วนอื่น |
LVC414 |
ลักษณะ | ชุดควบคุมไอระเหยของเหลว |
Dimennsions | 6.3 ซม. x 11.4 ซม. x 15.0 ซม |
น้ำหนัก | 0.55kg |
รายละเอียดสินค้า
Electronic Vaporizer คอนโทรลเลอร์ LVC-414 ได้รับการออกแบบมาเพื่อวัดและควบคุมอย่างถูกต้อง
อัตราการไหลของมวล (กรัม / นาที) ของสารเติมแต่งโดยการเปลี่ยนแปลงการไหลของก๊าซตัวพาผ่าน
bubbler ที่มีวัสดุต้นฉบับ
Source materials include SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 and BBr3. แหล่งข้อมูล ได้แก่ SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 และ BBr3 Other doping material can สารเติมอื่น ๆ สามารถ
นอกจากนี้ยังมีการควบคุมโดยมีเงื่อนไขว่าพวกเขาระเหยด้วยความเข้มข้นที่เพียงพอสำหรับความถูกต้อง
ratiodetection. ratiodetection Carrier gases include H2, He, N2, O2 and Ar. ก๊าซพาหะ ได้แก่ H2, He, N2, O2 และ Ar
มีเอาต์พุตสามรายการ:
ที่มา (0 ถึง + 5VDC)
ผู้ให้บริการ (0 ถึง + 5VDC)
อัตราส่วน (0 ถึง + 5VDC)
เอาต์พุตเหล่านี้สามารถตรวจสอบได้ด้วยโวลต์มิเตอร์ DC 5 โวลต์ใด ๆ ที่มีความไว 1,000
ohms/volt or more. โอห์ม / โวลต์หรือมากกว่า A built-in valve varies the carrier mass flow rate to control the source วาล์วในตัวจะเปลี่ยนแปลงอัตราการไหลของมวลผู้ให้บริการเพื่อควบคุมแหล่งกำเนิด
gram/min. กรัม / นาที selected by an external control voltage. เลือกโดยแรงดันไฟฟ้าควบคุมภายนอก
แพคเกจขนาดเล็กเดียวประกอบด้วยส่วนมิเตอร์, เครื่องตรวจจับอัตราส่วน, วาล์วควบคุมและ
อิเล็กทรอนิกส์
ข้อมูลจำเพาะ
ขั้นต่ำผู้ให้บริการก๊าซไหล: สูงสุด 5%
MAXIMUM SOURCE FLOW: Up to 40 grams/min. กระแสสูงสุด: สูงถึง 40 กรัม / นาที full scale เต็มสเกล
ช่วงความดันการดำเนินงาน: 10-40 psi ที่แตกต่างกัน
ความดันก๊าซสูงสุด: 60 psig
ช่วงอุณหภูมิของก๊าซและอากาศ: 60-90 ° F (15-35 ° C) สูงสุด 43 ° C ตามคำขอพิเศษ
การตอบสนอง: 10 วินาทีถึงภายใน 4% ของ setpoint
ผู้ให้บริการก๊าซ: ไฮโดรเจน, ฮีเลียม, ไนโตรเจน, ออกซิเจนหรืออาร์กอน,, ก๊าซผสม
การทำซ้ำ: ± 0.5% ของเต็มสเกล
ความดันคงที่: ± 0.25% ของขนาดเต็มสำหรับแรงกดดันจาก 10 ถึง 40 psid
ความแม่นยำและความเที่ยงตรง: ± 4.0% ของขนาดเต็มตลอดช่วงการทำงานทั้งหมด
การตั้งค่าคำสั่ง: 0.1 ถึง 5 vdc
บ่งชี้ผลลัพธ์:
1. แหล่งที่มา: 0.1-5 vdc เป็นสัดส่วนเชิงเส้นกับอัตราการไหลมวลของของเหลวที่ระเหย
2. ผู้ให้บริการ: 0.1-5 vdc เป็นสัดส่วนเชิงเส้นกับอัตราการไหลของมวลของก๊าซพาหะ
3. อัตราส่วน: 0.1-5 vdc เป็นสัดส่วนเชิงเส้นตามสัดส่วนของการไหลของไอ (SCCM) ต่อการไหลของตัวพา
(SCCM) ปรับสัดส่วนด้วย 5 vdc = 50%
ความต้านทานเอาท์พุท: สูงสุด 10 โอห์ม
ระลอก: สูงสุด 50 mv pp
ผลิตภัณฑ์มากขึ้น
จีอี | DS200PCCAG5ACB | EMERSON | KJ1611X1-EF1 |
จีอี | DS200RTBAG3AEB | EMERSON | KJ1700X1-BA1 |
จีอี | DS200SBCBG1ADC | EMERSON | KJ1710X1-BA1 |
จีอี | DS200SVAAG1A | EMERSON | KJ1740X1-BA1 |
จีอี | DS3800HIOA1C1E | EMERSON | KJ2001X1-BA1 |
จีอี | DS3800NDAC1D1E | EMERSON | KJ2002X1-BA1 |
ร.ล. | M00279 3266-140 | FOXBORO | FBM223 |
ร.ล. | ABC-PDP AB7000-B | FOXBORO | FBM231 |
ร.ล. | AB7000-C | FOXBORO | FBM242 |
อัย | DS-S-C1-L DSSC1LDS | FOXBORO | FCM10E |
อัย | PDR-I-200L-2 | FOXBORO | P0903CW |
ติดต่อเรา
miya@mvme.cn(คลิก)
อีเมล: miya@mvme.cn
QQ: 2851195450
โทรศัพท์: 86-18020776792
Skype: miyazheng52
ติดต่อเราได้ตลอดเวลา